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X射线测厚仪,测厚仪,光谱仪,x荧光膜厚仪,XRF电镀测厚仪

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西安申科泰仪器设备有限公司

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  • 企业类型:

    私营独资企业

  • 经营模式:

    经销商

  • 注册年份:

    2018-09-10

  • 主     营:

    X射线测厚仪,测厚仪,光谱仪,x荧光膜厚仪,XRF电镀测厚仪

  • 地     址:

    陕西省西安市沣东新城红光路44号二楼2108室

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认证公司:西安申科泰仪器设备有限公司

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毛细聚焦X射线镀层及成分分析测量仪
时间:2022-03-29 12:21:52

Bowman博曼X 射线荧光镀层测厚仪器材料分析仪,独有多
毛细孔 
射线光学系统,专为测量晶圆及印制线路板上极
微小结构而设计。


美国博曼(Bowman)拥有超过30年的行业经验,是专业的镀层测厚仪及元素分析仪器品牌。


O系列是毛细管机型,该机型搭载高端SDD探测器,可实现80um的测量斑点。美国博曼 O系列可在短时间内满足极小斑点的测量的同时获取精准的测量结果(准确性和重复性)。

O系列采用毛细管光学结构,拥有准确的测试性能,同时能实现极小的X射线光斑尺寸。该系列用毛细管结构取代了安装在博曼标准机型中的准直器组件。由于多导毛细管可以传递数百倍的能量信号,可以有效提高到达样品表面的入射X射线强度。O系列配备高分辨率的SDD探测器,在短时间内捕捉并处理大量数据,在短时间内满足极小斑点的测量的同时获取准确的测量结果(准确性和重复性)。


该系列采用80μm毛细管光学结构,同时配备可处理更高计数速率的高分辨率SDD硅漂移探测器。O系列的相机具有更大的放大倍数,45x视频放大和5x数码变焦。一个可编程的XY样品台也是标准配置。O系列的焦距非常小,适用于平整样品。


M系列是高端机型,光斑尺寸仅为15μm(FWHM),120倍放大相机用于观察样品上的细微特征; 同时配有低倍数相机,用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品,点击图像,通过高倍放大相机进行放大,实现测量点的精确定位和测量。


可编程的XY平台,可精确定位多个测量点;博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特的3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。


该系列采用15μm毛细管光学结构和高分辨率SDD探测器,以处理更高的计数率。相机具有120x放大和更高数字变焦能力。可编程的XY样品台是标准配置。M系列焦距非常小,所以使用时样品必须平整。

W系列采用多毛细管光学机构,可将X射线聚焦到7.5μm(FWHM),是目前使用XRF技术进行镀层厚度分析的极小光斑尺寸。150倍放大相机用于观察样品上的细微特征; 同时配有低倍数相机,用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品,点击图像,通过高倍放大相机进行放大,实现测量点的准确定位和测量。


可编程的XY平台,精度优于+/-1μm,可准确定位多个测量点;博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特的3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。


W系列仪器的标准配置包括7.5μm钼靶光学结构(可选铬和钨)和高分辨率、大窗口硅漂移探测器,该探测器每秒可处理超过2百万次计数。硅漂移探测器应用行业广泛,是测量复杂镀层的标准配置。高计数率能力是实现低检测下限和高光谱分辨率的关键。





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